이승훈 전문가 - 플랜트 엔지니어링(EPC) 답변 활동 ㅣ 궁금할 땐, 아하!

반도체 제조 시설("팹"이라고도 함)에서 스크러버는 잠재적으로 유해한 화학물질과 입자의 공기를 정화하는 데 사용되는 장치입니다.반도체 제조 공정에서는 대기 중으로 방출될 경우 인체나 환경에 유해할 수 있는 다양한 화학물질이 사용됩니다. 스크러버는 이러한 화학물질이 외부 환경으로 방출되기 전에 공기를 여과하고 제거하는 데 사용됩니다.스크러버는 일반적으로 공기에서 유해한 화학물질과 입자를 제거하는 일련의 필터와 기타 정화 부품으로 구성됩니다. 이러한 구성 요소에는 휘발성 유기 화합물(VOC)을 흡수하는 활성탄과 작은 입자와 먼지를 포집하는 HEPA 필터가 포함될 수 있습니다. 스크러버에는 제거할 특정 오염 물질에 따라 다른 유형의 필터나 화학 처리 공정이 포함될 수도 있습니다.

안녕하세요 이승훈 전문가입니다.

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