심자외선 노광장비의 특징이 무엇입니까?

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이 노광장비는 어떻게 만들어지는 지 궁금하고 그 기술은 얼마나 어려운 것인지 궁금합니다.

이것이 없으면 최첨단반도체를 못만드는데 그 이유가 무엇인지도 궁금합니다.