스핀코터의 원리는 무엇인가요?

Question

안녕하세요반도체 공정 과정 중 스핀코터라는것을 듣게 되었습니다웨이퍼를 코팅?하는 기술로 알고 있는데정확히 어떤 원리로 동작하는지 궁금합니다!

아리따운솔개286 · Accepted Answer

안녕하세요. 정철 과학전문가입니다.말그대로 스핀을 통해 코팅하는장비입니다.장비를 오픈한다음 코팅제를 중심부쪽에 도포후장비를  닫고 작동시키면 빠른 속도로 웨이퍼가 회전하면서 도포된 코팅제가 퍼지면서 전체적으로 코팅이 되는 방식입니다

신기한친칠라145 · Answer

안녕하세요. 송종민 과학전문가입니다. 스핀 코터를 이용한 도포A. 회전체 B. 피도물 표면 C. 도포액「스핀 코터」는 회전 원심력을 이용한 도포 장비로, 「스피너」라고도 합니다. 평활한 피도물(대상 물체)에 대해 얇고 균등한 도막을 만들 수 있습니다. 대표적인 용도로는 반도체 웨이퍼의 표면 처리나 레지스트 도포를 비롯한 프로세스부터 광학식 미디어의 코팅, 렌즈의 프라이머 및 조광액 도포 등 폭넓게 이용되고 있습니다.피도물(대상 물체)의 중심에 도포액을 떨어트리고 고속 회전시킵니다. 가속 회전으로 도포액에 원심력이 생기고 도포액이 표면 전체에 확산 도포되어 막을 형성합니다. 도포막 두께는 도포액의 점도, 피도포물의 회전 수, 회전 기동 가속도, 건조 속도 관련 배기에 의해 결정됩니다. 스핀 코터의 단점은, 회전 원심력으로 여분의 도포액을 피도물 밖으로 날리는 원리이기 때문에 실제로 막이 되는 액체량이 적하 액체량보다 적어 재료의 손실이 발생한다는 것입니다.배기에 의한 건조 속도 컨트롤, 장치 밖으로의 비산 방지, 이물질 혼입 방지를 위해 회전체·적하 기구가 케이스에 들어 있거나 도공 시 덮개를 닫는 타입이 일반적입니다. 장비의 기본 원리는 최근 수십 년간 변함이 없지만 피도물의 사이즈나 중량·재질에 대응하는 장치, 회전 수(속도) 제어·자동 적하 기능 등 다양한 사양과 기능이 있습니다.

굉장한호돌이84 · Answer

안녕하세요. 이상현 과학전문가입니다.스핀코터는 말 그대로 웨이퍼를 회전시키며 원하는 물질을 코팅해주는 방식을 말합니다.스핀을 주게된 상태로 물질을 웨이퍼 중앙부쯤에 분사하게 되면 원심력에 의해서용액이 바깥쪽으로 퍼져나가며, 회전력에 의해 모든방향으로 균일하게 용액이 퍼져나갑니다.또한, 회전 힘에따라서 이러한 코팅용액의 두께를 조절할 수도 있으므로, 바텀업 방식에 있어서 설계하기 용이하기도 합니다.감사합니다.

전기·전자

전기·전자

스핀코터의 원리는 무엇인가요?