햅틱 기술은 언제 처음 만들어 졌나요?

디지털로 된 스크린에서 터치 느낌을 나게 해주는 햅틱 기술은 누가 처름 개발해서 사용한 건가요?

이런 기술을 처음 내놓게 된 유래가 궁금합니다.