희토류 라는 자원이 반도체를 만드는데 사용되는 것인가요?
요즘 뉴스에서 많이 나오는 중국의 희토류가 미국에서 상당히 원하는 것 같은데, 희토류가 반도체를 만드는데 사용된다고 얼핏 본 것 같습니다. 그러면 반도체를 만드는데 어떤 공정이나 프로세스 상에서 사용이 되는 것인가요?
안녕하세요. 김찬우 전문가입니다.
희토류는 희귀할 희, 흙 토, 원소 류 자를 써서 흙에 있는 희귀한 원소들을 말합니다.
주기율표에 있는 17종의 원소로써 희토류 원소 이름은 다음과 같습니다.
스칸듐 (Scandium, Sc)
이트륨 (Yttrium, Y)
란타넘 (Lanthanum, La)
세륨 (Cerium, Ce)
프라세오디뮴 (Praseodymium, Pr)
네오디뮴 (Neodymium, Nd)
프로메튬 (Promethium, Pm)
사마륨 (Samarium, Sm)
유로퓸 (Europium, Eu)
가돌리늄 (Gadolinium, Gd)
테르븀 (Terbium, Tb)
디스프로슘 (Dysprosium, Dy)
홀뮴 (Holmium, Ho)
에르븀 (Erbium, Er)
툴륨 (Thulium, Tm)
이터븀 (Ytterbium, Yb)
루테튬 (Lutetium, Lu)
다양한 원소가 있다보니 반도체 분야에 사용되는 것도 있고 항공우주분야에 사용되는 재료도 있습니다.
반도체의 성능을 좌우하는 것이 ILD 라는 유전막인데 여기의 재료로 란타넘, 이트륨, 가돌리늄 이 해당 부품의 핵심재료로 사용되어 인기가 많습니다.
그럼 답변 읽어주셔서 감사드립니다~! 더 궁금한게 있으시면 언제든지 문의 주십시요:)
안녕하세요. 한만전 전문가입니다.
반도체의 전공정에 사용 된다고 보시면 됩니다.
대표적으로 증착,이온주입 도핑,CMP연마,에칭,패키징의 공정에 주로 사용 됩니다. 희토류는 주기율표상의 57번부터 71번까지의 원소를 말 합니다. 지구상에 많이 존재하는 원소도 있지만 매우 소량 존재하는 원소도 있습니다. 다만 순수한 상태로 존재하지 않기 때문에 모두 제련공정을 거쳐 순수한 윤소로 추출해야 하는데 이것이 매우 복잡하고 힘드며 또한 엄청난 환경오염 물질이 배출 됩니다.
안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
희토류는 반도체 자첼를 만드는 데 필수적인 재료는 아니지만 반도체 제조 장비나 특정 공정에 필요한 특수 자석 광원 연마재 등에 사용됩니다 이온 주입 장비나 극자외선 리소그래피 시스템 등에 고성능 자석이나 특수 코팅 소재로 활용되고 있습니다
안녕하세요. 한성민 전문가입니다.
희토류가 "희"소한"흙(토)"류 라는 의미이기 때문에 광범위 합니다. 다만, 반도체에도 다수 사용되기도 합니다