학문
SiC링이 무엇이며 반도체 공정에서 어떻게 쓰이는건가요
반도체 전공정을 보게되면 재료중에서 SiC링이라는게 있는데요 그렇다면 SiC링이 무엇이며 반도체 공정에서 어떻게 쓰이는 재료인가요
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안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
SiC링은 실리콘 카바이드로 만들어진 고경도 고내열성의 세라믹 링으로 반도체 전공정 중 특히 시각이나 증착 공정에서 플라즈마가 발생하는 챔버 내부의 부품을 보호하기 위해 사용됩니다 플라즈마에 노출되는 환경에서도 마모나 오염이 적고 내화학성이 우수해 공정의 안정성과 수율을 높여줍니다 그래서 SiC링은 반도체 장비 내에서 공정가스를 안정적으로 제어하고 오염을 방지하는 핵심 재료로 쓰입니다