학문
웨이퍼에 회로를 그려 넣는 포토공정이 뭔가요? 필림카메라로 산진을 찍는 원리 비슷하다고 하는데 포토공정이 뭔가요?
웨이퍼에 회로를 그려 넣는 포토공정이 뭔가요? 필림카메라로 산진을 찍는 원리 비슷하다고 하는데 포토공정이 뭔지 매우 궁금합니다?
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안녕하세요. 김학영 과학전문가입니다. 웨이퍼에 회로를 그리는 포토공정은 반도체 제조 공정 중 하나입니다. 이 공정은 웨이퍼의 표면에 미세한 회로를 패턴으로 그리기 위해 광학적인 기술을 사용합니다.
먼저, 웨이퍼 표면에 광감도성 미래재료를 덮어 놓습니다. 그리고 미래재료 위에 마스크라 불리는 광학적인 패턴을 만든 뒤, 웨이퍼 표면에 UV(자외선) 빛을 비춥니다. 이때 마스크의 투과 구간으로 UV 빛이 웨이퍼 표면에 들어가면, 마스크로 만든 패턴대로 미래재료가 발광하게 됩니다.
이렇게 발광한 미래재료는 웨이퍼 표면에 고정되고, 마스크를 벗기면 회로 패턴이 웨이퍼 표면에 형성됩니다. 이렇게 형성된 회로 패턴은 반도체 제조에 필요한 다양한 공정들을 거쳐 마지막으로 전자 제품의 핵심 부품이 되는 반도체 칩으로 제조됩니다.
따라서, 이러한 공정은 높은 정밀도와 광학적인 기술이 필요하며, 반도체 제조 공정 중 가장 중요한 과정 중 하나입니다.