반도체 공정에서 아세톤은 어떤 역할인가요?

Question

반도체 공정에서 아세톤을 사용하는 것으로 알고 있습니다. 세척을 위한 사용으로 생각이 됩니다만, 아세톤이 아닌 다른 세척용 액체는 없나요? 그리고 또 궁금한 것이 아무래도 액체인데 민감한 반도체에 부식을 유발한다던가 그런 우려스러운 일은 없는건가요?

어떤 효과를 가지고 있는 것인지 궁금합니다.

Answer 1

안녕하세요. 이상현 과학전문가입니다.

아세톤은 강력한 유기용매입니다.

이러한 유기용매들은 기름때같은 유기물질들을 잘 녹여 떨어트리게 합니다.
웨이퍼의 경우 실리콘이나 실리콘다이옥사이드로 되어있기 떄문에 아세톤이 흡착되거나 결합할 만한 작용기가 없습니다.
따라서 증류수같은 흐르는물에 잘 씻겨준 뒤 질소바람으로 잘 불어주게 되면
기름때가 없는 웨이퍼가 될 수 있습니다.

감사합니다.

Answer 2

보통 기본적으로 부식을 유발하는 것은 산소가 반응성이 크기 때문입니다.

아세톤이 액체라서 부식을 유발하는 것이 아닙니다.

아세톤을 사용하는 이유는 가격대비 효과가 좋기 때문입니다.

Answer 3

안녕하세요. 김두환 과학전문가입니다.

아세톤은 휘발성이 강해 반도체에 부식을 유발하지 않습니다. 반도체를 세척할 때 아세톤 말고도 IPA(아이소 프로필 알코올), DI water(순수한 물) 등도 사용하여 세척을 하며, 액체가 아닌 기체로도 세척을 진행합니다. 그리고 여러번에 걸쳐 세척을 하는데, 각각의 세척물에 따라 제거되는 불순물의 종류가 다르기 때문입니다.

아세톤의 경우 물로 녹이지 못하는 유기물을 잘 녹인다는 특징이 있습니다.

도움이 되셨다면 추천 부탁드립니다.