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초정밀 가공에서 미세 오차를 줄이는 방법은 어떤게 있나요?

안녕하세요 나노미터 수준의 초정밀 가공에서 미세 오차를 최소화 하려면 어떤 기술과 공법이 사용되나요? 온도변화나 공구의 마모도 진동 보정 등과 관련된 정밀도 유지 방법이 궁금합니다.

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