안녕하세요 나노미터 수준의 초정밀 가공에서 미세 오차를 최소화 하려면 어떤 기술과 공법이 사용되나요? 온도변화나 공구의 마모도 진동 보정 등과 관련된 정밀도 유지 방법이 궁금합니다.