반도체 제조시 방사선이 사용되는 공정이 있는지 궁금합니다.

Question

뉴스를 보니 삼*전자 기흥 공장에서 직원 2명이 방사선에 피복이 되었다고 합니다.

공장에서 방사선에서 피폭이 되었다니 너무 의아한데요.

혹시 반도체 제조시 방사선이 사용되는 공정이 있는지 궁금합니다.

Answer 1

안녕하세요

반도체 제조 과정에서 이온 주입 공정에서 방사선을 사용 합니다 이 공정은 불순물 원자를 고속으로 가속하여 웨이퍼 표면에 주입하는 과정으로 반도체 성능을 결정하는 중요한 단계라고 합니다

Answer 2

네, 일부 반도체 제조 프로세스에서 방사선이 사용될 수 있습니다. 예를 들어, 반도체 리소그래피 공정 중 미세한 패턴을 형성하기 위해 빛을 사용하는 광패턴화 공정에서 빛을 생성하기 위해 방사선 소스가 사용될 수 있습니다. 또한, 반도체 소자의 결함 검출을 위해 방사선 검사가 사용될 수도 있습니다. 

Answer 3

방사선은 웨이퍼를 제조할때ㅜ나오는 것우로 알고스있습니다 알단운 x선 방사선이ㅜ나오넌 것우로 얼고았는데요 구래도ㅠ보호장치를 만들어놔서ㅜ안전허다고 합니다