반도체 장비에 RESISTIVITY METER사용하는 이유가?
비저항센서? 반도체 장비에 초순수물에 대한 저항값을 측정하는거라는데 이게 왜 필요한걸까요? 아시는분 있으시면 답변좀 부탁드립니다.
안녕하세요
반도체 장비에서 비저항 측정기를 사용하는 이유는 크게 두 가지입니다. 첫째 반도체 제조 공정에서 사용되는 초순수의 순도를 확인하기 위해서 입니다 비저항 측정기는 초순수의 전기적 저항을 측정하여 이온 성분과 같은 불순물 함량을 간접적으로 추정하는 데 사용되며, 저항값이 낮을수록 불순물 함량이 높다는 것을 의미하므로 엄격하게 관리해야 합니다. 둘째 반도체 장비 및 파이프 라인 상태를 진단하기 위해 사용됩니다. 장비나 파이프 라인 내부에 부식이나 오염이 발생하면 초순수의 저항 값에 영향을 미치는데 비저항 측정기를 통해 지속적으로 저항값을 모니터링 함으로써 이러한 문제를 미리 감지하고 예방 조치를 취할 수 있으며 장비 및 파이프 라인의 노후화 정도를 파악하는 데에도 도움이 됩니다.
안녕하세요. 전기기사 취득 후 현업에서 일하고 있는 4년차 전기 엔지니어입니다.
반도체 제조 공정에서는 매우 깨끗한 초순수물을 사용합니다. 이 물은 반도체 패턴의 정밀한 형성과 세정을 위한 필수 요소입니다. RESISTIVITY METER를 사용하여 초순수물의 저항값을 측정하는 이유는 물의 깔끔도를 확인하기 위해서입니다. 순수할수록 전해질이나 불순물이 적기 때문에 저항값이 높게 나타납니다. 이를 통해 초순수물의 순도를 실시간으로 모니터링하고 필요한 경우 정제 과정을 조정합니다. 이는 공정의 안정성과 최종 제품의 품질을 보장하기 위해 꼭 필요합니다.
안녕하세요. 전기전자 분야 전문가입니다.
반도체 제조 공정에서 사용되는 초순수물은 매우 까다로운 품질 기준을 만족해야 하며, 비저항 값은 그 순도를 측정하는 중요한 지표 중 하나입니다. 순수한 물일수록 이온이나 불순물이 적고 저항이 높기 때문에, 비저항 측정을 통해 초순수물의 순도를 간접적으로 확인할 수 있습니다. 이 과정은 반도체의 성능과 수율에 직접적인 영향을 주므로, 비저항 미터는 반도체 제조 공정에서 필수적인 장비 중 하나입니다. 좋은 하루 보내시고 저의 답변이 도움이 되셨길 바랍니다 :)
- RESISTIVITY METER 장비는 초순수의 전기저항을 측정하는 장비 입니다. 초순수는 물에서 수소와 산소 분자외 모든 물질을 제거한 물이라고 보시면 됩니다. 일반적인 물이 전류가 흐르는 이유는 이런 불순물들이 있어서 전류가 흐르는데 전류가 흐르지 않게 하려면 이런 불순물이 다 제거 되어야하는 것입니다. 그래서 이런 초순수를 반도체에 사용하는 이유는 반도체는 나노미터 단위의 초 미세 공정을 거치게 되는데요. 이때 아주 미세한 먼지와 부산물등의 오염물질이 나오는데 이런 불필요한 물질들을 씻어주기 위해서 초순수가 사용됩니다. 일반 물 사용시 전류가 흘러 이상패턴과 결함이 발생될수 있어서 초순수를 사용하는 것입니다.
안녕하세요.
반도체 공정에서 비저항 센서는 초순수물의 저항값을 측정하는 중요한 역할을 합니다. 이는 반도체 제조공정 시 초순수 물의 필요하며, 주로 반도체 웨이퍼의 세정과정에 활용되기 때문입니다. 초순수물의 저항을 지속적으로 관찰하여 반도체 웨이퍼의 오염을 모니터링 할 수 있습니다. 반도체 제조공정 상 극도로 민감하고 정밀한 작업환경을 요구하기 때문에 반드시 필요합니다.
감사합니다.