미적분 주제탐구할거로 반도체 공정에서의 미분방정식 이용에 대해 조사 하려고 하는데요, 산화막 두께 예측 말고 또 있을까요?

Question

미적분 주제탐구할거로 반도체에 관심이 있어서 반도체 공정에서의 미분방정식 이용에 대해 하려고 하는데요, 산화막 두께 예측 말고 또 있을까요?

아님 아예 미적분 내용이랑 반도체 연결시키는 것도 괜찮아요. 공식 유도가 비율 계산 이런 것도 좋고...키워드가 딱 있었으면 좋겠어서요..

Answer 1

안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.

반도체 공정에서 미분방정식이 활용되는 분야로는 예를 들어 도핑공정에서 불순물의 확산 농도 변화를 예측하거나 식각공정에서 식각률과 웨이퍼 표면 형상 변화를 모델링하는 데 미분방정식이 사용됩니다. 또한 열처리 공정에서의 온도 분포 변화나 화학 기상 증착 공정에서의 박막 성장 속도를 분석하는 데에도 필수적으로 활용됩니다.