불화수소는 어떤 용도로 어디에 쓰이나요?

2020. 08. 11. 01:56

작년에 일본의 경제제재 이후 불화수소의 국산화내지 공급선 확대가 이루어졌는데 이 불화수소라는 물질이 반도체 공정에 중요하다고 들었는데 반도체에서 어떤 역할을 하나요?

또 반도체 이외에 사용되는 분야가 있나요?


총 4개의 답변이 있어요.

반도체는 일반적으로 Si 단결정으로 이루어진 물질입니다. 하지만 이 물질은 산소와 접촉하게 되면 SiO2라는 유리와 동일한 구조의 물질이 되는데요. 이 물질을 녹이는게 불산입니다. SiO2 (실리카)의 용도는 크게 두가지로 전기적인 부도체로서의 기능을 할 수 있으며 그리고 실리콘의 보호 표면 막으로의 역할도 할 수 있습니다. Si 웨이퍼위에 여러가지 패턴을 짜서 올려서 만든게 집적회로인데 여기서 기판 표면에 무언가를 올리기 위해서 이 SiO2를 깍아 내기위해 불산을 쓰고 또한 부분적으로 부도체가 필요한 (전기가 통하지 않아야 될 부분) 부분을 만들기 위해서 깍아서 쓰기도 합니다. 전문 용어로는 에칭이라고 합니다. 반도체 공정에서 위와 같은 이유로 반드시 필요한 물질입니다.

2020. 08. 11. 12:11
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    불화수소 용도는?

    1. 현황

    1년 전 일본의 급작스러운 불화수소등 수출 규제로 우리 기업들이 직격탄을 맞을 거란 전망이 있었으나, 다행히 기업들은 소재 공급처 다변화와 함께 소재-부품-장비의 국산화에 나섰고, 정부도 핵심 소재 육성 정책을 뒷받침해 오히려 국산화를 높이는 계기가 됐다.
    가장 큰 타격이 우려됐던 불화수소의 탈일본화가 뚜렷해지고 있으며, 지난해 7월부터 올해 5월까지 일본산 불화수소 수입액은 전년동기 대비 89.4% 줄었고, 일본산 수입 비중은 42.4%에서 무려 9.5%로 감소했다
    현재 “소재·부품·장비 분야 경쟁력"이 아직 갈 길 먼 게 사실이지만 전반적으로 1년 전보다는 향상되었다.

    2. 용도

    반도체 제조공정에서 회로의 불필요한 부분을 깎아내는 에칭(etching,식각) 공정과 불순물을 제거하는 과정에서 사용되는 독성이 있는 부식성 기체이다. 국내에서는 환경규제로 생산이 쉽지 않아 수입에 의존하고 있으며, 오래 보관할 경우 물질 특성이 바뀌기 때문에 필요한 양만큼만 수입해 사용한다. "이상"


    2020. 08. 13. 01:08
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      불화수소는 수소와 플루오린이 만나 탄생한 화합물로 플루오린화 수소라고도 불립니다.

      수소와 결합된 플루오린은 불소라는 이름으로 잘 알려진 원소인데요.

      반응성이 강하고 플라스틱이나 유리를 녹이는 성질이 있습니다.

      이 성질을 이용해서 반도체 식각 공정에서는 회로 패턴 외에 불필요한 부분을 부식하는데 사용하고 농도를 묽게 해 불순물을 제거하기 위한 세정 공정에서도 사용합니다.

      출처-https://m.blog.naver.com/ryt1658/222028459255

      2020. 08. 12. 23:01
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        불산플루오르화수소(HF)는 독성이 강한 부식성 기체로서 반도체 제조 공정 중 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼의 식각(etching)과 세정(cleaning)공정에 사용되는 소재다.

        일명 "에칭가스"로도 불리는 고순도 불화수소는 스텔라 모리타 등 일본 업체가 세계 수요의 90% 이상을 생산하고 있습니다.

        2020. 08. 12. 17:37
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