반도체 제조공정에서 리소그래피란?
반도체를 제조하는 공정에는 여러가지 공정들이 있습니다. 그 중에서 리소그래피라는 공정에 대해서 리소그래피가 무엇을 의미하는지 어떤 효과가 있는지 등에 대해서 궁금합니다.
안녕하세요. 김찬우 전문가입니다.
리소그래피는 반도체나 디스플레이를 만들때 사용하는 공정으로 포토 그래피, 포토 공정이라고 불리는 공정입니다.
이름에 사진이 들어가는 것에서 유추해볼 수 있듯이 반도체나 디스플레이에서 가장 중요한 회로를 사진을 찍어서 인쇄하는 것처럼 회로 패턴을 만드는 방법입니다.
패턴이 복잡하다보니 층을 올리고 깍고 올리고 깍고를 반복하게 되는데 이때 빛을 사용해서 패턴을 만드는 포토과정을 할때 포토리소그리피 공정이라고 합니다.
그럼 답변 읽어주셔서 감사드립니다~! 더 궁금한게 있으시면 언제든지 문의 주십시요:)
안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
리소그래피(Lithography)는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 미세한 회로 패턴을 형성하는 핵심 기술입니다. 이 과정은 빛을 사용하여 감광성 물질인 포토레지스트 위에 원하는 회로 패턴을 새기는 방식으로 이루어집니다. 먼저 포토레지스트를 웨이퍼에 얇게 도포한 후 마스크(회로 패턴이 새겨진 판)를 통해 자외선이나 엑스레이 같은 빛을 쬐어 패턴을 전사합니다. 이후 현상 과정을 통해 노출된 부분을 제거하여 회로 패턴을 완성합니다. 리소그래피는 반도체 소자의 집적도를 높여 초미세 회로를 만들 수 있는 중요한 역할을 하며 반도체 성능과 밀도를 결정하는 주요 기술입니다
안녕하세요. 박재화 박사입니다.
반도체의 제조공정을 보면 리소그래피 공정이 있는데, 이는 반도체 제조에서 빛을 이용해 웨이퍼 위에 미세한 회로를 형성하는 공정입니다. 이러한 과정에서 특정 패턴을 광학적으로 복사하여 회로가 새겨집니다. 이때, 회로의 크기가 작을수록 성능이 우수한 반도체를 만들 수 있기 때문에, 리소그래피 기술은 공정 미세화를 가능하게 하여 반도체 성능을 크게 향상시킬 수 있습니다.
감사합니다.
안녕하세요. 김경태 전문가입니다.
리소그래피는 반도체 제조 공정에서 매우 중요한 단계로, 웨이퍼 위에 미세한 패턴을 형성하는 과정입니다.
리소그래피는 빛을 이용하여 감광성 물질에 패턴을 형성하는 기술입니다. 이 과정은 전자 회로의 구조를 웨이퍼에 인쇄하는 것과 같습니다.
안녕하세요. 홍기윤 전문가입니다.
리소그래피는 석판인쇄술의 의미에서 비롯된 것이지만, 실제 반도체 공정에서는 포토리소그래피라고 부릅니다. 이것은 큰 회로 패턴을 캐드로 설계한 후 마스크를 만들어 자외선을 투과시켜 렌즈의 초점거리에 있는 웨이퍼에 미세회로로 감광인쇄하는 기술입니다. 따라서 많은 웨이퍼들을 계속 찍어낼 수가 있는 것입니다.
안녕하세요. 한성민 전문가입니다.
"포토리소그래피" 공정을 물어보신 것 같습니다.
포토리소그래피는 반도체 제작의 8대 공정 중 하나로, 설계도를 기반으로한 포토마스크의 패턴을 마스크에 그려넣는 과정을 의미합니다. 반도체에는 굉장히 미세한 회로패턴을 새겨넣어야 하므로 사용되는 공정이라고 생각하시면 됩니다.
간략히 설명드리면, 실리콘 웨이퍼 상에 금속층"감광액"을 도포합니다. 감광액은 빛이 닿으면 굳거나 용해되는 물질에 해당합니다. (즉, 물질에따라 positive, negative 물질이 있어서, 각각의 물질 특성에 맞게 공정을 선택하면 됩니다.)
이러한 도포된 감광액 상에 일정한 패턴이 새겨진 "마스크" 를 놓고 광을 조사하면, 마스크에는 일정 영역은 빛을 차단하고 일정 영역은 빛을 통과시키므로 마스크에 새겨진 패턴대로 감광액층에도 패턴이 생기게 됩니다.
이러한 감광액층의 패턴을 이용하면 감광액 패턴 하부에 있는 금속을 아주세밀히 가공할 수 있게됩니다.