반도체 스퍼터 공정의 기술적 원리와 어떠한 기능을 담당하나요?

Question

반도체 공정은 식각,포토 등등 많은 공정들이 있습니다.

그중 스퍼터란 공정이 있는데 공정 기술의 원리와

어떤 기능을 담당하는 단계인가요?

Answer 1

안녕하세요. 단아한비단벌레135입니다.

반도체 제조 공정 중 하나인 스퍼터링(sputtering)은 물질의 표면에서 아이온 빔을 사용해 원자나 분자를 제거하는 공정을 가리킵니다. 이 공정은 주로 반도체 소자의 씬 필름(thin film) 제조에 사용되며, 다양한 재료의 코팅에 활용됩니다.