증기기관은 언제 누가 처음 만들었나요?

산업혁명의 상징과도 같은 증기기관은 현재에도 전기 생산 등 다양한곳에 쓰이고 있는데요.

증기기관은 정확히 언제 누가 처음 개발하게 되었을까요?