학문
디스플레이 장비 ESC 에서 HE 쿨링 방식?
HE 이 쿨링에 사용된다는데 어떤 원리로 쿨링을 하는 건가요?
GLS 하부전극사이에서 HE이 열전달을 한다?
HE이 하부전극과 GLS사이를 흐르면서 쿨링을한다?
위의 방식이아니면 도대체 어떤 방식일까요????,
2개의 답변이 있어요!
안녕하세요. 강세훈 전문가입니다.
HE 쿨링 방식은 주로 열전달을 통해 디스플레이 장비의 온도를 조절하는 원리입니다.
이 방식에서는 HE가 하부전극과 GLS 사이를 흐르면서 열을 흡수하고 이를 외부로 방출하여 쿨링 효과를 발생시킵니다. HE는 열전도성이 뛰어나기 때문에 하부전극에서 발생하는 열을 효과적으로 전달받아 주변으로 분산시키는 역할을 합니다. 이 과정에서 HE가 흐르는 경로와 속도에 따라 쿨링 효율이 달라질 수 있으며 이는 장비의 성능과 안정성에 중요한 영향을 미칩니다. 따라서 HE 쿨링 방식은 디스플레이 장비의 열 관리를 위한 효과적인 방법으로 활용됩니다.
안녕하세요. 조일현 전문가입니다.
헬륨 쿨링 방식은 ESCD와 GLS사이에서 이루어 집니다.
헬륨 주입-ESC웨이퍼 틈새 흡수-GLS 열방출- 재압축 및 순환 으로 쿨링 사이클이 돕니다.