안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
MEMS(미세전자기계시스템) 기술은 마이크로미터 규모의 기계 구조물과 전자 회로를 통합하여 다양한 기능을 수행하는 기술입니다. MEMS 장치는 센서, 액추에이터 및 마이크로기계 구조를 포함하며, 주로 가속도계, 자이로스코프 압력 센서와 같은 분야에 사용됩니다. MEMS 기술에 사용되는 재료는 실리콘이 가장 일반적이며, 이외에도 폴리머, 세라믹, 금속 및 나노재료가 사용됩니다. 실리콘은 우수한 기계적 특성과 전기적 특성을 제공하며 쉽게 가공할 수 있어 MEMS 제작에 적합합니다. 이러한 재료들은 MEMS의 성능과 기능성을 높이는 데 기여하며 다양한 산업 분야에서 응용되고 있습니다.