반도체 공정에서 사용되는 저유전율 절연체 관련하여 질문드립니다.
안녕하세요. 반도체 공정에서 사용되는 저유전율 절연체의 신소재 개발 시, 유전율 감소와 기계적 강도를 동시에
향상시키기 위한 설계 전략은 무엇인가요?
안녕하세요. 박재화 박사입니다.
저유전율 절연체의 신소재 개발시에는 유전율 감소와 기계적 강도를 동시에 향상시키기 위해서 나노구조화나 다공성 구조를 활용할 수 있습니다. 나노입자를 추가하거나 복합재료를 사용하여 기계적 강도를 강화하면서도 낮은 유전율을 유지할 수 있습니다. 또한, 고분자 기반의 소재와 무기물 혼합을 통해 이 두 특성을 동시에 최적화하는 방법도 효과적입니다.
안녕하세요.
유전율 감소와 기계적 강도의 향상을 동시에 달성하려면, 미세구조 최적화가 중요합니다. 예를 들면, 고분자와 무기물 복합체를 이용해서 높은 강도를 유지하면서도 유전율을 낮출 수 있습니다. 또한, 나노크기의 입자들을 활용하여 물리적 특성을 조정하는 방법이 효과적인 전략이 될 수 있습니다.
안녕하세요.
저유전율 절연체의 신소재 개발에서는 유전율 감소와 기계적 강도를 동시에 개선하기 위해서 나노재료를 사용한 복합체 설계가 핵심이 됩니다. 나노입자나 다공성 구조를 적용하면 기계적 강도를 높이면서도 유전율을 낮출 수 있습니다. 또한, 고분자와 무기물의 조합을 통해 두 특성을 동시에 최적화하는 방식도 매우 유효합니다.
감사합니다.
안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
저유전율 절연체의 신소재 개발에서는 공극성을 활용해 유전율을 낮추되 과도한 공극 형성으로 인한 기계적 약화를 방지하는 것이 핵심입니다. 이를 위해 나노구조 제어 기술로 공극의 크기와 분포를 정밀하게 설계하거나 유기 무기 하이브리드 재료를 사용해 기계적 강도를 보완하는 방법이 있습니다
안녕하세요. 신란희 전문가입니다.
나노다공성 구조를 설계하되 기공벽을 강화하면 유전율 감소와 강도 향상을 동시에 달성할 수 있습니다.
실리카의 메틸화 처리나 유기-무기 하이브리드 구조를 적용하면 기계적 취약성을 보완할 수 있습니다.
그래핀, 탄소나노튜브 같은 2D 나노소재를 복합화하면 강도를 유지하면서 전자 이동 특성에 미치는 영향을 최소화할 수 있습니다.