반도체에서 공정을 진행후 매연이나 쓰레기는 어떻게 처리되나요?

Question

반도체 공정은 케미컬과 가스등을 사용합니다.

또 웨이퍼의 부산물 파티클도 많이 배출될거 같은데

사용후 배출되는 케미컬과 파티클들은 어떻게 처리가 되나요?

Answer 1

안녕하세요. 레퍼럴코드:jeong0761입니다.

, 공정 과정에서 발생하는 매연은 집진기를 통해 포집한 후, 소각 처리하거나, 화학적으로 처리하여 유해물질을 제거합니다. 또한, 폐수는 중화조를 통해 pH를 조절한 후, 여과장치를 통해 고형물을 제거하고, 탈색 및 탈염 처리를 통해 유해물질을 제거합니다.

배출가스는 집진기를 통해 포집한 후, 소각 처리하거나, 흡착 처리하여 유해물질을 제거합니다. 또한, 흡착 처리 후 발생하는 흡착제는 소각 처리하거나, 재활용 처리합니다.

파티클은 공정 과정에서 발생한 유해물질과 함께 폐수에 포함되어 처리됩니다. 또한, 공정 과정에서 발생한 먼지와 함께 집진기에 포집되어 처리됩니다.