반도체에서 공정을 진행후 매연이나 쓰레기는 어떻게 처리되나요?

반도체 공정은 케미컬과 가스등을 사용합니다.

또 웨이퍼의 부산물 파티클도 많이 배출될거 같은데

사용후 배출되는 케미컬과 파티클들은 어떻게 처리가 되나요?