Ebsd 장비는 어떤 원리 인건가요?,??

안녕하세요. 형성민 과학전문가입니다.

EBSD(Electron Backscatter Diffraction) 분석은 전자기계장치학적 형상(크기, 방향) 분석을 위한 기술입니다. 이 기술은 SEM(주사전자현미경)으로 샘플 표면을 스캔하면서 샘플에서 되돌아온 후방산란전자의 패턴을 수집하여 샘플의 입체적인 결정 방향을 식별하는 기술입니다. 이 방식은 결정의 방향, 결정 성장 역사, 결정 경계, 변형 및 석출된 상태 등 다양한 물리적 현상을 파악하는 데 사용됩니다.