반도체에서 정전척을 쓰는 이유는 무엇인가요?

Question

반도체에서는 정전기 방식 척을 사용합니다

정전기 방식으로 웨이퍼를 고정하기 위함이라고 합니다.

정전기 방식을 쓰는 이유는 무엇인가요?

Answer 1

안녕하세요. 장대은 과학전문가입니다.

정전척은 하부전극에서 정전기를 발생시켜 기판과 하부전극의 간격을 일정하게 유지, 기판을 수평상태로 고정시켜 줍니다

반도체 공정용 정전척도 같은 원리를 통해 웨이퍼를 수평상태로 고정시켜주기 위해 사용하는것으로 알고있습니다 ^^

항상 건강하시길 바라고, 답변이 도움됐다면 ★추천★ 부탁드립니다