반도체 제조 공정에서 정전척은 정전기력을 이용해 얇고 깨지기 쉬운 웨이퍼를 단단히 고정하는 장치입니다 기계식으로 웨이퍼를 잡으면 표면에 흠집이 생기거나 오염 물질이 발생할 수 있어 정전기 방식을 사용합니다 정전척은 웨이퍼를 넓고 균일하게 고정할 수 있어 정밀한 가공에 유리합니다 또한 웨이퍼와 척 사이의 열 전달을 도와 식각이나 증착 공정에서 온도를 안정적으로 유지하는 데 기여합니다 이처럼 정전척은 웨이퍼의 손상과 오염을 줄이면서 반도체 제조 공정의 정밀도와 수율을 높이는데 중요한 역할을 합니다