학문
반도체 제조에 사용되는 실리콘 기판에 대해서 궁금합니다.
안녕하십니까. 반도체 제조에 사용되는 실리콘 기판에 대해서 질문드립니다.
이 실리콘 기판의 순도를 높일 수 있는 방법은 무엇인지 전문가 분들의 답변 부탁드립니다.
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2개의 답변이 있어요!
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안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
실리콘 기판의 순도를 높이는 방법은 주로 결정 성장 과정에서의 제어 및 정제 기술에 의존합니다. 먼저 고순도 실리콘을 얻기 위해 석영 모래와 같은 원료에서 실리콘을 정제하는 과정에서 불순물을 최소화하는 것이 중요합니다. 이후 Czochralski 공정이나 성장된 결정에서의 지르코늄, 알루미늄 등과 같은 불순물을 제거하기 위해 고온에서의 결정 성장 조건을 최적화합니다. 또한 재료의 세척과 에칭 공정을 통해 표면과 내부의 불순물 제거를 강화하고 화학적 방법을 활용한 고온 산화 처리로 산화층을 형성하여 불순물의 확산을 억제할 수 있습니다. 이러한 방법들은 실리콘 기판의 전기적 특성을 향상시키고, 반도체 소자의 성능을 높이는 데 중요한 역할을 합니다.
안녕하세요. 신란희 전문가입니다.
실리콘 기판의 순도를 높이기 위해 고순도 원료 실리콘을 사용하고. 화학 기상 증착(CVD) 또는 분말 메탈로지 방법으로 정제하는 것이 효과적입니다. 또한, 여러 차례의 재결정화 과정을 통해 불순물을 제거하고 결정구조를 개선할 수 있습니다.