메모리 DRAM제품 생산에 사용되는 노광설비중 EUV 설비가 있는데 이 설비를 만드는 회사가 어디인지와 매우 고가라고 하는데 판매 가격이 얼마인지 다른 제조사가 있는지도 궁금합니다

Question

메모리 DRAM제품 생산에 사용되는 노광설비중 EUV 설비가 있는데 이 설비를 만드는 회사가 어디인지와 매우 고가라고 하는데 판매 가격이 얼마인지 다른 제조사가 있는지도 궁금합니다

초미세 공정을 위해 반드시 필요하다는 설비라고 들었는데

Answer 1

EUV 노광장비 반도체 장비 중에서도 극단적인 기술력이 필요한 장비입니다. 현재 상용 EUV 장비는 사실상 독점하고 있는데 네덜란드의 ASML이 그 기업입니다.

일반적인 Low NA EUV 장비는 한 대 가격이 1700억이 넘어가는데, 정확한 금액은 공개되지 않고 있습니다. 더 최신 장비인 High NA EUV는 3500억 이상으로 알려져 있어, 뭐 장비 한 대가 정말 어마어마하죠. 실제로 SK하이닉스는 High NA EUV 장비를 양산용으로 설치했고 차세대 DRAM 생산에 활용하고 있다고 합니다.

현재 EUV 분야에서 ASML과 같은 ㅜ준으로 양산 장비를 공급하는 경쟁사는 없다고 볼 수 있습니다.

Answer 2

안녕하세요. 서종현 전문가입니다.

메모리 DRAM 제품 생산에 사용되는 EUV(극자외선)노광 설비는 전세계적으로 네덜란드의 ASML이라는 회사가 독점적으로 생산하고 있습니다. EUV장비는 초미세 공정, 즉 5나노미터 이하 공정을 가능하게 하는 핵심 장비로서, 반도체 제조에서 가장 진보한 기술 중 하나입니다.

가격 면에서 EUV 장비는 매우 고가로 알려져 있습니다. 한 대당 가격이 대략 1,200억원에서 1,400억원 수준으로 일반 노광 장비보다 훨씬 비쌉니다. 이 고가 이유는 정밀한 광학 시스템과 복잡한 레이저 소스, 그리고 극한 환경 제어 기술 등이 모두 통합돼 있기 때문입니다.

현재 EUV 장비 시장은 ASML이 사실상 독점하고 있어 다른 제조사는 거의 없습니다. 일본과 미국 기업들이 EUV 관련 부품과 기술을 공급하지만, 완전한 장비를 생산하는 회사는 ASML뿐입니다. 따라서 반도체 업체들은 ASML과 긴밀한 협력을 통해 장비를 도입하고 있습니다.

요약하자면, EUV노광 설비는 ASML이 독점 제조하며, 초미세 공정에 필수적인 첨단 장비로써 매우 높은 가격대에 거래되고 있습니다. 이런 특성 때문에 메모리 반도체뿐 아니라 시스템 반도체 제조 경쟁력에서 핵심 역할을 합니다.

Answer 3

안녕하세요. 감병주 전문가입니다.

현재 반도체 양산용 EUV 노광장비를 공급하는 회사는 네덜란드의 ASML이 사실상 유일하다고 보면 될것 같아요.

EUV는 매우 짧은 파장의 빛을 이용해 웨이퍼에 미세한 회로를 그리는 장비로 최신 DRAM과 첨단 반도체 공정에서 사용되고 있는데 해당 기기의 가격은 모델에 따라 다르지만 기존 EUV 장비도 한 대에 수천억 원 수준이고 최신 High-NA EUV는 3억5천만 달러 이상에 달하는 것으로 알려져 있습니다.

일본 Nikon이나 Canon도 노광장비를 만들지만 현재 최첨단 양산용 EUV 장비는 생산하지 않습니다. 따라서 EUV 장비 시장에서는 아직 ASML을 실질적으로 대체할 업체가 없는 상황이라고 이해하시면 될것 같네요.