전자렌지는 언제 처음 나왔나요?

혼자 자취를 해보신 분이라면 아시겠지만 전자레인지는 정말 편리하고 유용하게 쓰이는데요 이런 전자레인지를 최초로 발명한 사람이 궁금합니다