학문
반도체 공정에서 먼지가 치명적인 이유는?
안녕하세요. 눈에도 보이지 않는 먼지가 반도체 공정상에서는 치명적인 문제라고 하는데, 미세 입자가 회로에 어떤 치명적인 결함들을 만들어내나요?
7개의 답변이 있어요!
안녕하세요. 박재화 전문가입니다.
반도체 공정에 지금 회로 선폰 수준은 수 nm 수준입니다. 이건 먼지하나 보다 회로 폭이 훨씬 작다는 것을 의미합니다.
즉, 이 먼지 하나가 큰 장애물로 작용할 수 있습니다.
미세 입자가 포토 공정 중에 패턴을 가리게 된다면 배선이 단선이 일어나거나 쇼트 결함이 발생될 수도 있습니다. 다른 반도체 공정에서도 마찬가지로 비정상적인 형상을 남기게 되죠.
이건 바로 수율이나 불량과 연관되기 때문에 치명적입니다.
안녕하세요. 김상엽 전문가입니다.
반도체 회로 선폭은 나노미터 단위로 머리카락 굵기의 수만 분의 일 수준입니다.
아주 미세한 먼지라도 회로 위에 앉으면 두가지 치명적인 결함을 만듭니다.
단선 및 단락 : 먼지가 회로 사이를 가로 막아 전기가 흐르지 않게 끊거나, 반대로 서로 닿지 않아야할 회로를 연결해 합선을 일으킵니다.
패턴 결함 : 노광에서 먼지가 빛을 가리면 설계대로 회로가 그려지지 않아 소자가 아예 작동하지 않는 불량품이 됩니다.
반도체는 칩간의 통전이 되어야하기 때문에 Particle을 잘 관리 해야합니다.
그래서 클린 룸이 존재하는 이유입니다!안녕하세요. 조규현 전문가입니다.
반도체 회로는 나노 단위로 매우 세밀하기 때문에 미세 입자가 회로 위에 앉으면 전기가 흐르는 통로를 막아 끊어지게 하거나, 원치 않는 회로끼리 연결해 쇼트를 일으키는 등 치명적인 결함을 유발합니다. 이런 입자들은 노광 공정에서 회로 패턴을 왜곡시켜 성능 저하나 불량의 직접적인 원인이 되기도 하죠. 그래서 아주 작은 먼지 하나도 반도체의 수율을 결정짓는 중요한 변수가 됩니다. 이 때문에 공장 전체를 극도로 깨끗한 클린룸 상태로 유지하며 철저히 관리하는 것입니다.
안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
반도체 회로 선폭은 수십nm 수진이라 먼지 하나가 배선보다 커서 패턴을 물리적으로 끊거나 덮어 단선 합선을 일으킵니다 또 미세 입자는 식각 증착 중 마스크 왜곡과 두께 불균일을 만들어 전기적 특성 편차와 누설전류를 키웁니다 그래서 보이지 않는 먼지하나가 칩 전체 불량 수율 급락으로 직격되기 때문에 클린룸이 필수입니다
안녕하세요. 설효훈 전문가입니다. 반도체 공정에서 먼지는 아주 치명적입니다. 요즘 반도체의 크기가 나노 단위까지 내려가서 아주 작습니다. 그런데 먼지가 묻게 되면 그로 인해서 정상적으로 작동되지 않게 될수 있습니다. 먼지에도 전류가 흐를수 있어서 쇼트가 발생되거나 비정상적으로 전류가 흘러서 정상 작동이 안될수 있습니다. 가장큰 이유는 이것입니다.
안녕하세요. 박형진 전문가입니다.
반도체는 초미세공정을 거쳐야 비로소 품질에 걸맞는 제품이 나옵니다.
반도체는 나노미터 단위의 회로를 만듭니다. 어마어마한 수치이죠. 그런데 이 마이크로미터 단위의 먼지는 나노미터 선폭에 비해 어마어마한 덩어리이기 때문에 당연히 품질 결함을 일으킬수 있습니다.
이 때문에 먼지는 반도체 공정에 절대적으로 없어야 하는 물질인 셈이죠.
참고 부탁드려요~
안녕하세요. 최정훈 전문가입니다.
반도체 공정은 나노 단위로 정교해서, 아주 작은 먼지도 회로를 끊거나 합선시키는 거대한 장애물이됩니다. 노광 공정 중 먼지가 빛을 가리면 설계도와 다른 불량 패턴이 그려지고, 절연막 사이에 끼어 성능을 떨어뜨리기도합니다. 결국 미세 입자는 제품의 수명과 수율에 직격탄을 날리기 때문에, 클린룸 관리가 필수적입니다. 결론은 먼지나 미세입자 관리가 반도체공정에서 매우 중요한 것입니다. 감사합니다.