학문
화2의 내용이 반도체공정에서 어떻게 쓰이나요?
일단 화2 목차 및 내용 사진에 있는데... 여기 나와있는 화학 내용에서 반도체 제조공정 전반에 걸쳐 어떻게 쓰이는지 알려주세요(자세히 알려주시면 좋겠습니다!)
아 그리고 반도체 제조공정 관련된 책 추천해주세요!(현제 고3입니다)
1개의 답변이 있어요!
안녕하세요. 조일현 전문가입니다.
화학2는 반도체 제조공전 전반에 걸쳐 다양하게 적용되고 있습니다.
산화 환원 반응- 실리콘 웨이퍼 표면에 산화막을 형성하는 과정에서 불필요한 부분을 제거합니다.
산 염기반응- 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하기 위해 산성 또는 염기성 용액이 사용됩니다.
착이온 형성- 착이온 형성을 통한 전기도금이 사용됩니다.
열 역학-기체 상태 반응물이 기판에서 화학 반응으로 박막을 형성하는 열역학적 원리가 적용됩니다.
고3 학생이면 반도체 제조기술의 이해 - SK하이닉스 출간으로 반도체 전문가들이 집필한 도서로 입니다. 전공정 전반의 프로세스를 다루고 있어 이해하는데 도움이 될듯 합니다.