고려시대의 향, 소, 부곡은 언제 사라졌나요?

고려시대에는 향, 소, 부곡이라는 하나의 마을 집단적으로 묶어서 신분적인 규제를 부여했는데 이러한 마을 형태가 사라지게 된 것은 언제부터인가요?