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Youangel
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Sem 장비는 무엇인지 궁금합니다.

안녕하세요? 반도체 분야에서 쓰이는 Scanning electron microscope 는 어떠한 기능을 하는것인지 알고싶습니다.

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6개의 답변이 있어요!
  • 안녕하세요. 전기기사 취득 후 현업에서 일하고 있는 4년차 전기 엔지니어 입니다.

    Scanning Electron Microscope, 줄여서 SEM은 전자를 사용하여 물질의 표면을 고해상도로 이미지화하는 장비입니다. 주로 반도체, 재료 과학, 생물학 등 다양한 분야에서 사용됩니다. SEM은 시료의 표면을 스캔함으로써 입체적인 이미지를 제공하며, 이를 통해 시료의 미세한 구조를 분석할 수 있습니다. 반도체 분야에서는 웨이퍼의 결함이나 표면 상태를 정밀하게 검사할 때 유용합니다. SEM은 고전압의 전자빔을 시료에 조사하고, 이로 인해 발생하는 다양한 신호를 감지하여 이미지를 생성합니다. 이를 통해 나노미터 수준의 해상도로 관찰이 가능해 미세한 구조 분석에 널리 사용됩니다.

  • 탈퇴한 사용자
    탈퇴한 사용자

    안녕하세요. 전기전자 분야 전문가입니다.

    Scanning Electron Microscope, 즉 SEM은 반도체 분야에서 매우 중요한 장비 중 하나로, 고해상도의 이미지를 제공하는 전자 현미경입니다. 이 장비는 시료에 전자빔을 쏘아 나오는 2차 전자를 감지하여 시료의 표면 이미지를 생성합니다. 이를 통해 미세한 구조와 결함을 관찰하는 데 유용하며, 반도체 제조 과정에서 원자 단위의 분석이나 표면 특성을 이해하는 데 필수적입니다. 해상도가 높고 깊이 있는 분석이 가능하므로 반도체 외에도 다양한 재료 과학 분야에서 활용됩니다.

    좋은 하루 보내시고 저의 답변이 도움이 되셨길 바랍니다 :)

  • 안녕하세요. 서인엽 전문가입니다.

    쉽게 말씀드리면, 반도체 분야를 포함한 다양한 과학 및 기술 분야에서 사용되는 고해상도 분석 도구입니다.

    SEM은 표면의 형상과 질감을 고해상도로 분석할 수 있으며, 반도체 소자의 구조적 결함이나 패턴을 시각화하는 데 사용되며, 에너지 분산 X-선 분광법(EDX)을 결합하여, 샘플의 원소 조성을 분석할 수 있습니다.

    도움되길 바랍니다

    감사합니다.

  • 안녕하세요.

    SEM은 물질을 관찰하기 위한 전자현미경의 일종으로 주사전자현미경으로 불립니다. 이는 고해상도의 이미지의 획득과, 표면 구조를 상세하게 분석할 수 있습니다. 또한 여러 장비들이 장착되어, 다양한 기능(원소 분석, 시편 가공 등)을 수행 할 수 있는 강력한 도구입니다.

  • 안녕하세요. 설효훈 전문가입니다. Sem은 전자 현미경의 한종류로 전자 빔을 주사해서 표본의 상을 얻는 현미경입니다. 주사전자현미경은 표면 현상, 적층 결함 등을 직접 관찰 할수 있어서 물체의 입자의 형상과 크기를 관찰할수 있고 또한 원소와 화합물의 종류 및 양을 분석할수 있습니다. 

  • 안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.

    Scanning electron microscope 은 주사전자현미경이라고 하며 도체 제조 공정에서 필수적인 분석 장비입니다

    주사전자현미경은 미세한 전자빔을 시료 표면에 주사하여 발생하는 다양한 신호를 분석하여 시료의 미세 구조 표면

    형상 조성 등을 고해상도로 관찰을 할 수 있습니다