반도체 공정 중 유해가스가 가장 많이 나오는 공정?

Question

유해가스와 각종 오염물질이 특히 많이 나오는 공정이 뭔가요? 한 두가지만요 !

스크러버는 모든 공정에서 사용이 되고 있는지도 궁금합니다 !

Answer 1

안녕하세요. 안예진 과학전문가입니다.

포토나 에치 공정에서 유해 가스가 많이 발생합니다.

mask를 베이킹 하거나 에칭을 통해 깎아낼 때 가스가 많이 발생합니다. 스크러버는 표면을 매끈하게 깎아야 할 때 많이 사용합니다.