휴대폰 진동은 어떻게 발생이 되는건가요?

휴대폰을 진동모드하면 진동이 울리게 되는데 그 진동은 어떤원리도 휴대폰이 떨리게 되는지 알수있을까요? 너무 궁금해서 물어봅니다