Q. 장비 설계에서 통합 자동화 시스템을 구축하는 방법
안녕하세요. 김상규 전문가입니다.장비 설계에 있어서 통합 자동화 시스템을 구축하는 방법의 관점으로 정리해보면첫째가장 기본적으로 대상이 되는 프로세스에 대한 치밀한 분석이 우선이고그에 가장 알맞은 자동화 기술을 선택하는 과정입니다.둘째결국 장비가 자동제어 시스템을 통해 돌아가야 하므로장비와 제어시스템의 통합을 이뤄야 하는데일반적으로 SCADA 시스템이나 PLC 시스템을 통해 구성됩니다.셋째최근 실시간 데이터 처리 및 분석, IoT 기술 활용을 위해엣지 컴퓨팅 기술을 접목시킵니다.넷째자동화 과정에 있어 인공지능을 통한 범위 확장과 자동화를 실현합니다.자동화 시스템이라는 말은결국 최근에 추구하는 마지막 지점인스마트 팩토리 와도 일맥상통한다 하겠습니다.스마트 팩토리라 하면인공지능 (AI)과 로봇을 활용하여 공장 내 설비와 기계에 센서 (IoT)가 설치되어 데이터가 실시간으로 수집, 분석되면서팩토리 내의 전체적인 상황이 관찰되고,자동으로 분석해서 알아서 컨트롤 하는 공장을 말하는데요.팩토리 내 모든 기계설비에 센서부탁을 통한 데이터 수집그 데이터를 인공지능 알고리즘 통한 분석(이 분석과정에서 결국 머신러닝, 딥러닝이 적용됩니다)분석 데이터 기반으로 팩토리내 기계설비를 제어최종적으로 기계설비 제어 결과를 또 데이터화 하여 수집/ 분석하여지속적 개선하게 되는 완전 자동화 공장 되겠습니다.
Q. 반도체 제조용 초정밀 리소그래피 장비에서 나노미터급 정밀도를 유지할 수 있는 방법
안녕하세요. 김상규 전문가입니다.나노미터급 정밀도를 위한 최적화 관점에서서보제어장치는웨이퍼를 정확하게 필요한 위치에 배치하고정밀한 움직임을 제어하는 정밀 스테이지가 나노미터급 제어가 가능해야합니다.여기서 고정밀 모터와 센서를 통한 웨이퍼 위치 및 움직임의 정확한 제어가 요구되고이것은 패턴을 전사하는 과정에서의 에러를 감쇠시킵니다.또한 장비안정성 유지 및 패턴 전사과정의 오류를 최소화하기위해기계적 진동 과 열변형이 최소화 가능한 구조로 설계되야하는 점도 중요합니다.광학시스템 에서는칩의 정밀 및 집적도 상승을 위한 극자외선 기술 즉 EUV 기술을 통한짧은 파장사용을 통한 정밀한 회로 패턴 형성이 구현되야하고고정밀렌즈, 빈사경 등의 사용으로 , 빛의 파장, 각도, 초점을 정밀 조절 가능해야 합니다.그 외 기본적으로 광학 부품들의 가공정확도와 품질은 기본적인 사항으로 되야합니다.